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发布日期：2025-06-20 09:02 点击次数：85
跟着半导体产业的赶快发展，半导体设立商场范畴也在同步增长。关联数据泄漏，2017年至2022年，民众半导体设立商场范畴从566亿好意思元擢升至1076.4亿好意思元。设立商场扩增极大擢升了设立零部件需求。据推算，2022年民众半导体设立零部件采购额约为500亿好意思元。
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▲ WSTS于2023年6月份发表数据，2022年民众半导体商场销售额达到5741亿好意思元，2024年展望达到5760亿好意思元 数据开头：WSTS
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▲ 半导体设立民众商场范畴 资料开头：SEMI，民生证券参议院
按照结构组成，半导体零部件可巧合分为：机械类、电气类、机电一体类、气/液/真空系统类、仪器容貌类、光学类等。其中真空系统类则分为干式真空泵、分子泵等多样真空泵、各种阀件、压力计以及O型密封圈等。
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▲ 半导体设立产业链险阻游图片开头：民生证券参议院
VLSI Research 统计，近10年来半导体要害子系统供应商销售额名次，前十位被真空泵、光学系统、阀门厂家紧紧占据。用最直不雅的数据例如，一个月产4万片的晶圆厂，巧合需要上千台真空泵及尾气处理系统和500台分子泵。可见真空系统在半导体行业的进军性。
一 半导体制造与真空系统
半导体产物的扫数这个词制造过程可分为：晶圆加工—氧化—光刻—刻蚀—薄膜千里积—互连—测试—封装 等规范，其中包括了上百个具体的工艺关节。其中真空系统在半导体制造中涵盖了晶片加工、薄膜涂覆、化学气相淀积、等离子体刻蚀等多个关节。
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▲ 真空系统在半导体制造的主要应用关节
真空系统在半导体制造中的作用主要有两点：❶抽取工艺腔的气体，去除颗粒与过剩的水汽等杂质，有助于减少其对半导体材料的欺侮；❷收尾气压，终了对半导体器件制造过程中的精准收尾。凭据以上需求半导体设立的真空系统主要由干式真空泵，分子泵与冷泵产物组成。
当前民众半导体真空系统无论是产物水准一做交易场份额，欧洲厂商皆占据很大比重。其中，EDWARDS 无疑是半导体产业真空产物的理思和洽伙伴。本文以 EDWARDS 部分产物为例，说明干式真空泵、分子泵及尾气处理设立在半导体制造中的应用。
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▲ 世界主要真空泵供应商积年销售额数据开头：VLSI research，EDWARDS，单元：百万好意思元
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▲ TechInsights 发布2023年十泰半导体设立商的名次，EDWARDS 位列第四
● 干式真空泵
当前在半导体范畴试验的干式真空泵主要为：多级罗茨真空泵、爪式真空泵和螺杆真空泵。
在半导体分娩线上，相差样品加载腔（L/L腔），传输腔和工艺处理腔皆需真空环境，但对真空系统的条目有所不同。
关于L/L腔抽真空，干式真空泵面对的主要挑战是耐受高频大气冲击；关于传输腔，干式真空泵面对的主要挑战是大气冲击以及收尾特定气量下的压力；关于工艺腔抽真空，干式真空泵的条目是耐腐蚀，壮健性高，处理粉尘智商强及密封性精良。
当前工艺处理腔真空系统主流大多是聘任罗茨+多级爪式干泵或罗茨+多级罗茨干泵的多级泵结构，以 EDWARDS iXH 泵与 iXM 泵为相比典型的应用格式，其主要凭据工艺挑战取舍合适的型号。
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▲ 自上而下辞别为：EDWARDS iXM 系列（奸诈耗、高性能）、iXH 系列（强耐腐蚀性、处理粉尘智商强）
● 分子泵
分子泵日常应用于半导体制造过程中的光刻机、薄膜千里积设立、刻蚀设立、离子注入机、原子层千里积（ALD）等要害设立。
如 EDWARDS STP 磁悬浮涡轮分子泵适用于条目高真空、低振动、无欺侮、少爱戴的半导体工艺中。其多轴磁力轴承系统可使转子在运转时间守护悬浮景象，吊销了机械轴承带来的损坏风险，同期较大缩小杂音和振动。
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▲ EDWARDS STP 系列磁悬浮涡轮分子泵：抽气速率300L/s至4500L/s，极限压力<10-10mbar，工艺气体流量处贤人商强
芯片分娩过程需不隔断使用有机溶剂和酸性溶液，反应过程会产生无边的有毒无益的气体。EDWARDS STP 系列磁悬浮涡轮分子泵为工艺过程提供保护涂层、氮气吹扫、加热保护等选项，其可靠的质料和性能，在商场上享有较大声誉，在好多具有挑战性的半导体工艺中是理思设立。
● 尾气处理设立
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半导体工艺中使用的气体有毒性，易燃易爆，腐蚀等本性，不可径直排放至大气中，需要用尾气处理设立将不可控的气体调理为可控气体，以下为废气的排放旅途。
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半导体废气排放旅途EDWARDS 以 Atlas 为代表的一系列尾气处理设立具有精良的气体处理收尾，粉尘处贤人商强和安全性高，获取了民众半导体客户的认同。同期尾气处理设立与干式真空泵组成集成系统，以应酬高风险工艺，擢升工艺壮健性与空间利用率，共同组成了 EDWARDS 竣工的半导体真空及尾气处阐明决决议。
二 半导体真空系统爱戴、维修的进军性
纵不雅民众半导体行业的发展态势，其制造工艺对半导体设立的条目已越来越惨酷。相应的，半导体零部件在材料、结构、工艺、品性、精度、可靠性、壮健性等各方面也面对着更高的规范。
关于真空系统及尾气处理设立相通如斯。真空系统是半导体设立的进军组成部分，真空泵运转情况的优劣径直影响制品的质料和设立的安全。是以，对真空系统及尾气处理设立如期查验、实时发现故障和处理，可灵验从简维修时候，保证设立安全经济运转。
而简直数据也表现了以上不雅点。通过分析2017年至2022年民众半导体真空泵商场范畴情况咱们不错得出论断：维修商场与设立商场共同组成了半导体真空泵商场全景，其中维修商场占比约25%，说明半导体真空泵领有雄伟的维修商场。好多真空系统及尾气处理设立是24小时不隔断运转的，维修设立注定增多分娩老本，该数据也让半导体厂商判辨到设立检测、查验、爱戴、维修的进军性。
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2017-2022年民众半导体真空泵商场范畴情况 图片开头：华经产业参议院三 优质售后做事 更好助力客户分娩
另一方面，优质半导体真空系统供应商凭据商场及客户需求，在提供高品性设立硬件的同期，擢升售后做事质料，保证产物壮健高效运转，更好的助力客户分娩。
看成真空和尾气处理范畴的民众和洽伙伴，EDWARDS 售后做事团队一直助力现场运营，为客户提供优质做事。据统计，EDWARDS 少见万台设立遍布寰宇，保证宽敞设立的正常运转，保险客户高效分娩，成为其售后做事团队的重要任务！
从装机与维修，到珍摄与束缚校阅，EDWARDS 售后做事团队运营使命之是以获取广泰半导体客户的认同，其原因主要体当今以下四个方面：
❶ 专科的售后做事团队
EDWARDS 售后做事团队在国内领有专科的半导体设立维修、珍摄本领及数百名教训丰富的工程师，分享民众半导体设立应用学问，同期领有国内产物应用、本领复旧、海外产物研发等里面团队的强力复旧，确保满足不同的客户需求，保证设立的“健康”！
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❷ 问题反应更实时
EDWARDS 售后做事团队遍布寰宇数十个主要城市，做事东谈主员全天候反应。灵验的做事政策，完善的问题处理和升级经过，确保更快更准地识别和贬降低题，为客户缩小分娩过程中的损成仇老本。
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❸ 现场功课更安全
售后做事团队分享 EDWARDS 民众安全料理体系，将公司安全料理主义和客户安全主义相伙同，制定出相宜客户和售后团队的现场安全料理体系。通过束缚的风险评估和安全风险识别，制定应酬步调缩小风险，保证现场功课的安全性。通过售后团队成员束缚提高的安全坚忍，保证现场设立、东谈主员的安全以及客户分娩安全。
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❹ 做事质料更贴心
使用来自得家做事教训制定的功课引导书，确保团队做事成员在提供客户做事前完成专科级产物培训认证，并束缚擢升成员自武艺段和做事技巧，旨在为客户提供更贴心的高质料做事；凭据现场客户规定、分娩工艺和设立人命周期，为客户量身定制优质做事霸术，捏续校阅现场运营情况。
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看成真空和尾气处理范畴的贬责决议提供商，EDWARDS 售后做事团队凭借雄伟的客户群体，鸠合民众半导体设立数据和该范畴全面的专科学问，天真诈骗做事料理当用系统开yun体育网，实时制定灵验的做事政策，缩小现场风险和不细则性，为客户打造众人级的真空系统及尾气处理设立维修珍摄贬责决议。
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